Elektrostatische Antriebe

Elektrostatische Antriebe sind in der Mikrotechnik weit verbreitet. Am IMT forschen wir daran, diese Antriebstechnik auch für feinwerktechnische Präzisionsantriebe nutzbar zu machen.

Prinzip des elektrostatischen Kammaktors.
Prinzip des elektrostatischen Kammaktors. Das elektrische Feld E erzeugt eine (konstante!) Kraft, die die beiden Kämme zusammenzieht.

Am IMT werden elektrostatische Antriebe untersucht. Diese kommen ohne nennenswerten Stromfluss aus und produzieren daher auch nahezu keine Abwärme. Für verschiedene funktionale Fragestellungen sind Motoren, die in einem Magnetresonanz-Scanner eingesetzt werden können, sinnvoll. Das bedeutet konkret, dass auf elektrisch leitfähige Materialien größtenteils und auf ferromagnetische Materialen vollständig verzichtet werden muss. Darüber hinaus sind Stromfluss und resultierende Magnetfelder so weit als möglich zu vermeiden.

Prototyp eines elektrostatischen Antriebs für die z-Positionierung eines Mikroskopie-Tisches
Prototyp eines elektrostatischen Antriebs für die z-Positionierung eines Mikroskopie-Tisches
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