Positioniersysteme

Forschungsfragen bezüglich Positioniersystemen.

Für die Mikroskopie werden Positioniersysteme für die Probenmanipulation benötigt, die hochpräzise, klein und frei von (thermischem) Drift sind. Hierfür stehen elektrostatische Antriebe zur Verfügung und werden untersucht.

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